👨‍🏫 0022.  フォトリソグラフィー

フォトリソグラフィー　微細加工　レジスト　スピンコート　パターニング　エッチング　レーザーアブレーション　ギター　音叉　周波数　共鳴　共振　固有振動数　電波　携帯電話　クリーンルーム　スペクトルアナライザー　スペアナ　半導体　フォトレジスト

【動画】フォトリソグラフィー¹⁾

ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」

http://c1.yz.yam…

ギターと音叉。共鳴と共振。

携帯電話のフィルター。

サファイア上にセリアを製膜、その上にＹＢＣＯを製膜、レジストをスピンコーティング、現像、ドライエッチング。フィルターとして組み立てて、冷凍庫に入れて特性を評価。

エンドウ　サイトウ　タカハシ

【関連講義】

無機・分析化学応用実験,金属の腐食（エッチング加工）金属の腐食（エッチング加工）²⁾

無機化学実験,工業化学への応用（電池，アノード酸化，エッチング，ディスプレイ）（２００９）工業化学への応用（電池，アノード酸化，エッチング，ディスプレイ）（２００９）³⁾

第８回：色っぽい話第８回：色っぽい話―ディスプレイ⁴⁾

品質管理,ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程⁵⁾

品質管理,半導体のつくり方―後工程⁶⁾

無機工業化学,半導体とフォトリソグラフィー半導体とフォトリソグラフィー（２００７）⁷⁾

応用化学演習II,６月２６日　電気化学⁸⁾

金属の腐食（エッチング加工）⁹⁾

【関連書籍】

アノード処理（エッチング）¹⁰⁾

¹¹⁾

¹²⁾

¹³⁾

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【関連講義】無機工業化学,半導体とフォトリソグラフィー、印刷技術マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体―¹⁵⁾

• (1) 立花　和宏. ピカッとさいえんす：フォトリソグラフィー. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=3489.  (参照2011-01-31).
• (2) 遠藤 昌敏. 無機・分析化学応用実験：金属の腐食（エッチング加工）. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1316.  (参照2007-04-10).
• (3) 仁科辰夫;水口;伊藤;立花;. 無機化学実験：工業化学への応用（電池，アノード酸化，エッチング，ディスプレイ）（２００９）. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=2986.  (参照2009-11-05).
• (4) 立花和宏. エネルギー変換化学：第８回：色っぽい話―ディスプレイ. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1063.  (参照2006-12-08).
• (5) 妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;. 品質管理：ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1372.  (参照2007-05-01).
• (6) 妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;. 品質管理：半導体のつくり方―後工程. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1370.  (参照2007-05-01).
• (7) 伊藤 智博. 無機工業化学：半導体とフォトリソグラフィー（２００７）. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1643.  (参照2007-12-13).
• (8) 仁科 辰夫. 応用化学演習II：６月２６日　電気化学. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=2233.  (参照2008-06-23).
• (9) 伊藤 智博、立花 和宏、仁科 辰夫. 化学実験Ⅰ：金属の腐食（エッチング加工）. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4719.  (参照2018-03-23).
• (10) 山下正通、小沢昭弥. 現代の電気化学. 丸善, 2012. .
• (11) 永田伊佐也. 電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ. 日本蓄電器工業株式会社, 1997. .
• (12) 松林光男、渡辺弘. イラスト図解　工場のしくみ. 日本実業出版社, 2004. p.23.
• (13) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. p.158.
• (14) 数研出版編集部. 視覚でとらえるフォトサイエンス物理図録. 数研出版, 2006. .
• (15) 立花和宏. 無機工業化学：マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体―. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4112.  (参照2014-06-30).