フォトリソグラフィー 微細加工 レジスト スピンコート パターニング エッチング レーザーアブレーション ギター 音叉 周波数 共鳴 共振 固有振動数 電波 携帯電話 クリーンルーム スペクトルアナライザー スペアナ 半導体 フォトレジスト
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
サファイア上にセリアを製膜、その上にＹＢＣＯを製膜、レジストをスピンコーティング、現像、ドライエッチング。フィルターとして組み立てて、冷凍庫に入れて特性を評価。
エンドウ サイトウ タカハシ
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. 日本蓄電器工業株式会社, 1997. . - (12) 松林光男、渡辺弘.
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. 日本実業出版社, 2004. p.23. - (13) 野村正勝・鈴鹿輝男.
最新工業化学―持続的社会に向けて―
. 講談社サイエンティフィク, 2004. p.158. - (14) 数研出版編集部.
視覚でとらえるフォトサイエンス物理図録
. 数研出版, 2006. . - (15) 立花和宏.
無機工業化学：マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体―
. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=4112. (参照2014-06-30).
