HOME 教育状況公表 本日
⇒#3489@講義;

0022.  フォトリソグラフィー

立花 和宏
http://c1.yz.yamagata-u.ac.jp/yonezawa-ncv-022.htm

この 講義 ピカッとさいえんす の単元です。 この講義(フォトリソグラフィー)の親単元は ピカッとさいえんす です。

初版

フォトリソグラフィー 微細加工 レジスト スピンコート パターニング エッチング レーザーアブレーション ギター 音叉 周波数 共鳴 共振 固有振動数 電波 携帯電話 クリーンルーム スペクトルアナライザー スペアナ 半導体 フォトレジスト

動画フォトリソグラフィー1)

ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー

http://c1.yz.yam…

ギター音叉共鳴共振

携帯電話フィルター

サファイア上にセリア製膜その上にYBCO製膜レジストスピンコーティング現像ドライエッチングフィルターとして組み立てて冷凍庫に入れて特性評価

エンドウ サイトウ タカハシ

関連講義

無機分析化学応用実験,金属腐食エッチング加工金属の腐食(エッチング加工)2)

無機化学実験,工業化学への応用電池アノード酸化エッチングディスプレイ2009工業化学への応用(電池,アノード酸化,エッチング,ディスプレイ)(2009)3)

色っぽい話第8回:色っぽい話―ディスプレイ4)

品質管理,TFTアレイ薄膜半導体配列製造工程TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程5)

品質管理,半導体のつくり方―後工程6)

無機工業化学,半導体フォトリソグラフィー半導体とフォトリソグラフィー(2007)7)

応用化学演習II,6月26日 電気化学8)

金属の腐食(エッチング加工)9)

関連書籍

アノード処理エッチング

表面処理の目的と用途
めっき
アノード処理チング
p.149
2Al + 3H2O  Al2O3 + 6H+ +6e-1)
Al2O3 + 6H+  2Al3+ + 3H2O2)
塗装
化学処理
泳動電着
表面硬化
化学修飾
電鋳

出典:
表面処理の目的と用途
(山下正通、小沢昭弥. 現代の電気化学. 丸善, . ) 10)

アルミニウムエッチング

電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ目次1)
(1 > 電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ(目次)
永田伊佐也, 電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ, 日本蓄電器工業株式会社, (1997).

出典:
アルミニウムのエッチング
(永田伊佐也. 電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ. 日本蓄電器工業株式会社, . ) 11)

工場見学モノがつくられる工程みる

大きな工場と小さな工場
のつくり方
液晶パネルのつくり方
油圧ショベルのつくり方
カップラーメンのつくり方
ビールのつくり方
自動車のつくり方
ボルトのつくり方
半導体のつくり方

イラスト図解 工場のしくみ目次イラスト図解 工場のしくみ(目次)1)

出典:
工場見学!モノがつくられる工程をみる
(松林光男、渡辺弘. イラスト図解 工場のしくみ. 日本実業出版社, p.23. ) 12)

機能性高分子

電気電子材料

イオン伝導高分子材料
電子伝導高分子材料

圧電性高分子


機能材料
ホトレジスト 電子線レジスト
分離機能材料

イオン交換膜

印刷 半導体 集積回路


出典:
機能性高分子
(野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, p.158. ) 13)

共振回路振動回路電磁波

共振回路
共振周波数
インピーダンス
振動回路
固有周波数
電磁波
電磁波の速さ
熱放射
電波

出典:
共振回路・振動回路・電磁波
(数研出版編集部. 視覚でとらえるフォトサイエンス物理図録. 数研出版, . ) 14)

関連講義無機工業化学,半導体フォトリソグラフィー印刷技術マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体―15)


関連の展示品

参考文献( 書籍雑誌URL )

課題



<li> <article> . <q><cite> フォトリソグラフィー </q></cite>. 山形大学,  <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=11124'> ピカッとさいえんす <a/a> 講義ノート, 2011. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=3489'> https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=3489 </a> ,  (参照 <time datetime="2019-9-22">2019-9-22</time>). </article> </li>

QRコード
https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=3489

SSLの仕組み

このマークはこのページで 著作権が明示されない部分について付けられたものです。

山形大学 データベースアメニティ研究所
〒992-8510 山形県米沢市城南4丁目3-16 3号館(物質化学工学科棟) 3-3301
准教授 伊藤智博
0238-26-3573
http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/

Copyright ©1996- 2019 Databese Amenity Laboratory of Virtual Research Institute,  Yamagata University All Rights Reserved.