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フォトレジスト

1.

感光性のレジストフォトリソグラフィーで基板上にパターン形成するのに使う感光材料1)半導体材料液晶ディスプレイカラーフィルターパターニング2)印刷の製版などにも使います3)

動画4)
ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー
http://c1.yz.yam…


エネルギ > 第8回:色っぽい話―ディスプレイ,エネルギー変換化学@2006
立花 和宏,エネルギー変換化学, 講義ノート, (2006).

いざ、工 > JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント,いざ、工場見学に出発!
仁科 辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2003).

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(1 > 高分子化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(2エネルギ > 第8回:色っぽい話―ディスプレイ,エネルギー変換化学@2006
立花 和宏,エネルギー変換化学, 講義ノート, (2006).
(3いざ、工 > JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント,いざ、工場見学に出発!
仁科 辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2003).
(4ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).