フォトレジスト

語釈1.

感光性のレジスト。光レジスト。ホトレジスト。フォトリソグラフィーで基板上にパターンを形成するのに使う感光材料¹⁾。

エッチング工程で除去されないように基板の残したい部分を覆います。

半導体材料。液晶ディスプレイのカラーフィルターのパターニング第８回：色っぽい話―ディスプレイ²⁾、印刷の製版などにも使いますJSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント³⁾。

【動画】フォトリソグラフィー⁴⁾

ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」

http://c1.yz.yam…

• (1) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. .
• (2) 立花和宏. エネルギー変換化学：第８回：色っぽい話―ディスプレイ. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1063.  (参照2006-12-08).
• (3) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=26.  (参照2003-11-14).
• (4) 立花　和宏. ピカッとさいえんす：フォトリソグラフィー. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=3489.  (参照2011-01-31).