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🌡️ 📆 令和5年3月31日

レジスト

1.

耐腐食性の感光材料。フォトレジストや電子線レジストがあります1)。

フォトリソグラフィープロセスで2)、パターニングに使う絵の具のようなものです3)。

半導体や液晶パネル4)の製造には欠かせません5)。

【関連書籍】
表面の機能化6)
高分子化学7)

【動画】8)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…


エネルギ > ç¬¬ï¼˜å›žï¼šè‰²ã£ã½ã„話―ディスプレイ,エネルギー変換化学@2006
立花 和宏,エネルギー変換化学, 講義ノート, (2006).

いざ、工 > JSR(æ ª)四日市プラント、(æ ª)イーテック四日市プラント,いざ、工場見学に出発!
仁科 辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2003).

品質管理 > ï¼’007 > ç¬¬ï¼•è¬›ã€€ > æ¶²æ™¶ãƒ‘ネ > ï¼´ï¼¦ï¼´ã‚¢ãƒ¬ã‚¤ï¼ˆè–„膜半導体配列)製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).

ピカッと > ãƒ•ã‚©ãƒˆãƒªã‚½ã‚°ãƒ©ãƒ•ã‚£ãƒ¼,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(1 > é«˜åˆ†å­åŒ–å­¦
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(2エネルギ > ç¬¬ï¼˜å›žï¼šè‰²ã£ã½ã„話―ディスプレイ,エネルギー変換化学@2006
立花 和宏,エネルギー変換化学, 講義ノート, (2006).
(3いざ、工 > JSR(æ ª)四日市プラント、(æ ª)イーテック四日市プラント,いざ、工場見学に出発!
仁科 辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2003).
(4品質管理 > ï¼’007 > ç¬¬ï¼•è¬›ã€€ > æ¶²æ™¶ãƒ‘ネ > ï¼´ï¼¦ï¼´ã‚¢ãƒ¬ã‚¤ï¼ˆè–„膜半導体配列)製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(5 > å·¥å ´è¦‹å­¦ï¼ãƒ¢ãƒŽãŒã¤ãã‚‰ã‚Œã‚‹å·¥ç¨‹ã‚’みる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(6表面処理 > è¡¨é¢ã®æ©Ÿèƒ½åŒ–
山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 新星社, (1990).
(7 > é«˜åˆ†å­åŒ–å­¦
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(8ピカッと > ãƒ•ã‚©ãƒˆãƒªã‚½ã‚°ãƒ©ãƒ•ã‚£ãƒ¼,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).