1.
耐腐食性の感光材料。フォトレジストや電子線レジストがあります1)。フォトリソグラフィープロセスで2)、パターニングに使う絵の具のようなものです3)。
半導体や液晶パネル4)の製造には欠かせません5)。
【関連書籍】
表面の機能化6)
高分子化学7)
【動画】8)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
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エネルギ > 第８回：色っぽい話―ディスプレイ,エネルギー変換化学＠２００６
立花 和宏,エネルギー変換化学, 講義ノート, (2006).
いざ、工 > JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント,いざ、工場見学に出発！
仁科 辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2003).
品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネ > ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
(1) > 高分子化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(2) エネルギ > 第８回：色っぽい話―ディスプレイ,エネルギー変換化学＠２００６
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(4) 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネ > ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(5) > 工場見学！モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(6) 表面処理 > 表面の機能化
山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 新星社, (1990).
(7) > 高分子化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(8) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
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(7) > 高分子化学
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