レジスト

語釈1.

耐腐食性の感光材料。フォトレジストや電子線レジストがあります¹⁾。

フォトリソグラフィープロセスで第８回：色っぽい話―ディスプレイ²⁾、パターニングに使う絵の具のようなものですJSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント³⁾。

半導体や液晶パネルＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程⁴⁾の製造には欠かせません⁵⁾。

【関連書籍】

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【動画】フォトリソグラフィー⁸⁾

ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」

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• (1) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. .
• (2) 立花和宏. エネルギー変換化学：第８回：色っぽい話―ディスプレイ. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1063.  (参照2006-12-08).
• (3) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=26.  (参照2003-11-14).
• (4) 妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;. 品質管理：ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1372.  (参照2007-05-01).
• (5) 松林光男、渡辺弘. イラスト図解　工場のしくみ. 日本実業出版社, 2004. p.23.
• (6) 山下正通、小沢昭弥. 現代の電気化学. 丸善, 2012. .
• (7) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. .
• (8) 立花　和宏. ピカッとさいえんす：フォトリソグラフィー. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=3489.  (参照2011-01-31).