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🌡️ 📆 令和6年4月20日

👨‍🏫   ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程

品質管理 では、 「 液晶パネルのつくり方 」 の中で、 「ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程」について 述べられています ⇒#1372@講義;。

受け入れ洗浄
前洗浄
成膜
レジスト塗布
露光・現像
エッチング
レジスト剥離

【参考書籍】
工場見学！モノがつくられる工程をみる¹⁾
早わかり講座²⁾

【関連講義】無機・分析化学応用実験,金属の腐食（エッチング加工）³⁾

【動画】⁴⁾
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…

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特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

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(1)  > 工場見学！モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解　工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(2)  > 早わかり講座
成美堂出版編集部, モノができる仕組み辞典, 成美堂出版, (2008).
(3) 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).
(4) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

関連の展示品

◇ 参考文献( 書籍 ・雑誌 ・URL )

• (1) . 動画配信. . mms://stream.yz.yamagata-u.ac.jp/00000024.asf, (参照2009-5-1).
• (2) . お話品質管理. . /Default.asp?DSN=ElectroChem&nKnowledgeID=2396, (参照2009-5-1).
• (3) . 参考書：要説品質管理. . /amenity/Library/BookReviewWeb.aspx?nBookReviewID=22, (参照2009-5-1).

• .ＴＦＴアレイ（薄膜半導体配列）製造工程. 山形大学,  品質管理 講義ノート, 2007. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1372 ,  （参照 2024-4-20）.

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https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1372

名称： 教育用公開ウェブサービス

URL： 🔗 https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/

管理運用 ： 山形大学 学術情報基盤センター

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名称： サイバーキャンパス「鷹山」

URL: 🔗 http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/

管理運用 ： 山形大学 データベースアメニティ研究会

〒992-8510 山形県米沢市城南4丁目3-16