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  TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程

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この 講義 品質管理 の単元です。 この講義(TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程)の親単元は 液晶パネルのつくり方 です。

初版
受け入れ洗浄
洗浄
成膜
レジスト塗布
露光現像
エッチング
レジスト剥離

考書籍
工場見学モノつくられる工程みる1)
早わかり講座2)

関連講義無機分析化学応用実験,金属腐食エッチング加工3)

動画4)
ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー
http://c1.yz.yam…

特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食(エッチング加工),表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(1 > 工場見学!モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(2 > 早わかり講座
成美堂出版編集部, モノができる仕組み辞典, 成美堂出版, (2008).
(3特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食(エッチング加工),表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).
(4ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

関連の展示品

参考文献( 書籍雑誌URL )

課題



<li> <article> . <q><cite> TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程 </q></cite>. 山形大学,  <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=10236'> 品質管理 <a/a> 講義ノート, 2007. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1372'> https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1372 </a> ,  (参照 <time datetime="2019-10-19">2019-10-19</time>). </article> </li>

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