受け入れ洗浄 前洗浄 成膜 レジスト塗布 露光・現像 エッチング レジスト剥離 【参考書籍】 工場見学！モノがつくられる工程をみる1) 早わかり講座2) 【関連講義】無機・分析化学応用実験,金属の腐食（エッチング加工）3) 【動画】4) ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」 http://c1.yz.yam…特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).(1) > 工場見学！モノがつくられる工程をみる松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).(2) > 早わかり講座成美堂出版編集部, モノができる仕組み辞典, 成美堂出版, (2008).(3) 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).(4) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
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