前洗浄
成膜
レジスト塗布
露光・現像
エッチング
レジスト剥離
【参考書籍】
工場見学！モノがつくられる工程をみる1)
早わかり講座2)
【関連講義】無機・分析化学応用実験,金属の腐食（エッチング加工）3)
【動画】4)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…
特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).
ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
(1) > 工場見学！モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(2) > 早わかり講座
成美堂出版編集部, モノができる仕組み辞典, 成美堂出版, (2008).
(3) 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).
(4) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(2) > 早わかり講座
成美堂出版編集部, モノができる仕組み辞典, 成美堂出版, (2008).
(3) 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤 昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).
(4) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).