フォトリソグラフィー

1.

レジストを塗布して露光しパターニングする加工技術。

もともとはフォトリソグラフィーでエッチングでグラビア印刷の版を作っていました。プリント基板の製造なのどにも応用されます。

おおくは半導体の集積回路の製造¹⁾²⁾³⁾やテレビのシャドウマスク製造などの微細加工に使う技術となっています⁴⁾。

光の波長以下では電子描画やＸ線描画が行われます⁵⁾。

【関連講義】

無機工業化学,⁶⁾

半導体と印刷、フォトリソグラフィー（２０１１Ａ）⁷⁾

卒業研究（Ｃ１-電気化学２００４～） では、 「 デジタルってなに？―デジタル社会― 」 の中で、 「画像のアナログ記録－写真製版とフォトリソグラフィー－」について 述べられています ⁸⁾。

【動画】⁹⁾

ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」

http://a.yamagat…

【動画】¹⁰⁾

ピカッとさいえんす「印刷技術」

http://a.yamagat…

• (1) 妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;. 品質管理：半導体のつくり方. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=1338.  (参照2007-04-06).
• (2) 伊藤 智博. 無機工業化学：半導体とフォトリソグラフィー（２００８）. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=2495.  (参照2008-12-11).
• (3) 西久保靖彦. よくわかる最新半導体の基本と仕組み. 秀和システム, 2003. .
• (4) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. .
• (5) 立花和宏. 基礎量子化学：光で加工しよう～フォトリソグラフィー／ＳＥＭ. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=86.  (参照2005-06-17).
• (6) 立花和宏. 無機工業化学：半導体と印刷技術. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=4148.  (参照2013-07-01).
• (7) 立花和宏. 無機工業化学：半導体と印刷、フォトリソグラフィー（２０１０Ａ）. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=3553.  (参照2011-06-27).
• (8) 伊藤 智博、仁科 辰夫. 卒業研究（Ｃ１-電気化学２００４～）：画像のアナログ記録－写真製版とフォトリソグラフィー－. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=5123.  (参照2021-12-03).
• (9) 立花　和宏. ピカッとさいえんす：フォトリソグラフィー. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=3489.  (参照2011-01-31).
• (10) 立花　和宏. ピカッとさいえんす：印刷技術. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=3711.  (参照2011-11-20).