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令和8年10月25日 （日）

微細加工

語釈1.

フォトリソグラフィーを使って半導体集積回路を製造するなど微細な加工をすること1)。ホコリが大敵なのでクリーンルーム中で作業します。

【動画】2)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
(1)  > ＬＳＩ製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
(2) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
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