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🌡️ 📆 令和5年2月5日

微細加工

1.

フォトリソグラフィーを使って半導体集積回路を製造するなど微細な加工をすること1)。ホコリが大敵なのでクリーンルーム中で作業します。

【動画】2)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…

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立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

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西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
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立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).