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🌡️ 📆 令和6年4月25日

微細加工

1.

フォトリソグラフィー使って半導体集積回路製造するなど微細な加工すること1)ホコリが大敵なのでクリーンルーム中で作業します

動画2)
ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー
http://c1.yz.yam…

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(1 > LSI製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
(2ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
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