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令和8年10月10日 (土)

露光

語釈1.

カメラのフィルムなどに光を当てて感光させること。

半導体製造のフォトリソグラフィーのような微細加工のパターニングでは、光源にエキシマレーザーや電子ビームを使ったりします1)。

レーザープリンタの印刷ではレーザー光でドラムに露光します。

TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, (2007).

(1) TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, (2007).
#🗒️👨‍🏫カメラ#🗒️👨‍🏫半導体#🗒️👨‍🏫フォトリソグラフィー#🗒️👨‍🏫微細加工#🗒️👨‍🏫光源


◇ 参考文献


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