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令和6年12月4日 （水）

半導体材料

語釈1.

半導体を製造するプロセスで使う材料。化学産業として重要。シリコンウェハ、フォトレジスト、封止材、バックコート剤、層間絶縁膜、ＣＭＰスラリー、プロセス用のガスや洗浄剤などです。
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◇ 参考文献

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