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ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
サファイア上にセリアを製膜、その上にYBCOを製膜、レジストをスピンコーティング、現像、ドライエッチング。フィルターとして組み立てて、冷凍庫に入れて特性を評価。
エンドウ サイトウ タカハシ
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