0022.  フォトリソグラフィー

http://a.yamagata-u.ac.jp/amenity/Laboratory/C1/Ncv.aspx?vol=22
ピカッとさいえんす の単元です。

小単元

概要

フォトリソグラフィー　微細加工　レジスト　スピンコート　パターニング　エッチング　レーザーアブレーション　ギター　音叉　周波数　共鳴　共振　固有振動数　電波　携帯電話　クリーンルーム　スペクトルアナライザー　スペアナ　半導体　フォトレジスト

【動画】フォトリソグラフィー1)

ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」

http://c1.yz.yam…

ギターと音叉。共鳴と共振。

携帯電話のフィルター。

サファイア上にセリアを製膜、その上にＹＢＣＯを製膜、レジストをスピンコーティング、現像、ドライエッチング。フィルターとして組み立てて、冷凍庫に入れて特性を評価。

エンドウ　サイトウ　タカハシ

【関連講義】

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【関連書籍】

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【関連講義】無機工業化学,半導体とフォトリソグラフィー、印刷技術マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体―15)

集積回路

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参考文献（ 書籍 ・論文 ・ＵＲＬ）