エッチング

1.

金属や半導体、セラミックスなどの材料を、腐食そのほかによって部材を除去する加工方法）¹⁾。ドライエッチング（ドライプロセス）とウェットエッチング（ウェットプロセス）があります。表面のモルフォロジーを制御します。

ドライエッチングは半導体²⁾や液晶パネル³⁾の製造にかかせません。

ケミカルミーリングとフォトエッチングに大別されます。

フォトエッチングでは、銅を加工するグラビアロール、ＩＣのリードフレーム、鉄を加工するカラーテレビのシャドウマスク、などを製造します。機械加工技術の向上でリードフレームはほとんどがスタンピングでつくられるようになりました⁴⁾。

アルミ電解コンデンサ⁵⁾の拡面処理や印刷のＰＳ版⁶⁾に使われます⁷⁾。

【関連書籍】
プリント配線について学ぼう⁸⁾
表面の機能化⁹⁾

【動画】¹⁰⁾
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…

特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).

品質管理 > ２００７ > 第５講　 > 半導体の > 半導体のつくり方―前工程,半導体のつくり方
立花　和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).

品質管理 > ２００７ > 第５講　 > 液晶パネルのつくり方,第５講　品質管理と品質保証
立花　和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).

> 株式会社ルネサス北日本セミコンダクタ米沢工場,
仁科辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2006).

電気・電 > 信英蓄電器箔株式会社＠長野県上伊那郡,電気・電子（コンデンサ）
仁科辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2005).

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(1) 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）,表面加工とエネルギー変換
遠藤昌敏,無機・分析化学応用実験, 講義ノート, (2007).
(2) 品質管理 > ２００７ > 第５講　 > 半導体の > 半導体のつくり方―前工程,半導体のつくり方
立花　和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(3) 品質管理 > ２００７ > 第５講　 > 液晶パネルのつくり方,第５講　品質管理と品質保証
立花　和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(4)  > 株式会社ルネサス北日本セミコンダクタ米沢工場,
仁科辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2006).
(5)  > アルミニウムのエッチング
永田伊佐也, 電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ, 日本蓄電器工業株式会社, , (1997).
(6)  > 表面処理と機能化
山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 丸善, , (2012).
(7) 電気・電 > 信英蓄電器箔株式会社＠長野県上伊那郡,電気・電子（コンデンサ）
仁科辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2005).
(8)  > プリント配線について学ぼう
小林一也, 工業技術基礎, 実教出版, p.98, (2002).
(9) 表面処理 > 表面の機能化
山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 丸善, , (2012).
(10) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

2.

(1)塩酸中におけるアルミニウム交流エッチングのサイクリッククロノポテンショメトリーによる検討
松木健三,立花和宏,菅原陸郎,船越明,菅沼栄一,金属表面技術, Vol.39, No.12, pp.796-802,,(1988).