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🌡️ 📆 令和6年4月26日

👨‍🏫   半導体のつくり方―前工程

品質管理 では、 「 半導体のつくり方 」 の中で、 「半導体のつくり方―前工程」について 述べられています ⇒#1369@講義;。

基板上にＩＣ回路を形成する工程です。

インゴットの引き上げ
インゴットの切断
ウエーハの研磨
ウエーハ表面を酸化
フォトレジスト塗布
回路設計・パターン設計
フォトマスク作成
ウエーハ表面にパターン形成
エッチング
酸化・拡散・ＣＶＤ・イオン注入
平坦化
電極形成
ウエーハ検査

不良＝異物、不純物、汚染

【参考】
非直線抵抗¹⁾
工場見学！モノがつくられる工程をみる²⁾
よくわかる最新半導体の基本と仕組み（目次）³⁾
ＬＳＩ製造の前工程⁴⁾
半導体部会⁵⁾
ドライプロセス⁶⁾

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半導体部会,電子情報技術産業協会
仁科 辰夫, 電気化学の庵, 講義ノート, (2007).

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(1) 非直線抵抗
中村英二、吉沢康和, 新訂物理図解, 第一学習社, (1984).
(2) 工場見学！モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解　工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(3) よくわかる最新半導体の基本と仕組み（目次）
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
(4) ＬＳＩ製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
(5) 半導体部会,電子情報技術産業協会
仁科 辰夫, 電気化学の庵, 講義ノート, (2007).
(6) ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学　基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).

関連の展示品

◇ 参考文献( 書籍 ・雑誌 ・URL )

• (1) . 動画配信. . mms://stream.yz.yamagata-u.ac.jp/00000024.asf, (参照2009-5-1).
• (2) . お話品質管理. . /Default.asp?DSN=ElectroChem&nKnowledgeID=2396, (参照2009-5-1).
• (3) . 参考書：要説品質管理. . /amenity/Library/BookReviewWeb.aspx?nBookReviewID=22, (参照2009-5-1).

• .半導体のつくり方―前工程. 山形大学,  品質管理 講義ノート, 2007. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369 ,  （参照 2024-4-26）.

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https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369

名称： 教育用公開ウェブサービス

URL： 🔗 https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/

管理運用 ： 山形大学 学術情報基盤センター

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名称： サイバーキャンパス「鷹山」

URL: 🔗 http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/

管理運用 ： 山形大学 データベースアメニティ研究会

〒992-8510 山形県米沢市城南4丁目3-16