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🌡️ 📆 令和6年7月15日
⇒#1369@講義;

👨‍🏫   半導体のつくり方―前工程

妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;

品質管理 では、 「 半導体のつくり方 」 の中で、 「半導体のつくり方―前工程」について 述べられています ⇒#1369@講義;。

📆 初版
#🗒️👨‍🏫インゴット#🗒️👨‍🏫エッチング#🗒️👨‍🏫IC#🗒️👨‍🏫酸化

基板上にIC回路を形成する工程です。

インゴットの引き上げ

インゴットの切断

ウエーハの研磨

ウエーハ表面を酸化

フォトレジスト塗布

回路設計・パターン設計

フォトマスク作成

ウエーハ表面にパターン形成

エッチング

酸化・拡散・CVD・イオン注入

平坦化

電極形成

ウエーハ検査

不良=異物、不純物、汚染

【参考】

1)

2)

よくわかる最新半導体の基本と仕組み(目次)3)

4)

半導体部会5)

6)



関連の展示品


表


◇ 参考文献( 書籍 ・雑誌 ・URL )


✍ 平常演習

💯 課外報告書 Web Class



<h3 > <a id='yznl1369' href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369'> 👨‍🏫 </a> <a href='http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/'> 半導体のつくり方―前工程 </a> </h3>

<!-- 講義ノート  講義ノート  講義ノート  -->
<li>
<article> 妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369'> <q><cite> 半導体のつくり方―前工程 </q></cite> </a>.
山形大学,  <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=10236'> 品質管理 <a/a> 講義ノート, 2007.
<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369'> https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369 </a> ,  (参照 <time datetime="2024-7-15">2024-7-15</time>). </article> </li>
</article> <!-- 講義ノート  講義ノート  講義ノート  -->

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