フォトリソグラフィー 微細加工 レジスト スピンコート パターニング エッチング レーザーアブレーション ギター 音叉 周波数 共鳴 共振 固有振動数 電波 携帯電話 クリーンルーム スペクトルアナライザー スペアナ 半導体 フォトレジスト
【動画】フォトリソグラフィー1)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
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ギターと音叉。共鳴と共振。
携帯電話のフィルター。
サファイア上にセリアを製膜、その上にＹＢＣＯを製膜、レジストをスピンコーティング、現像、ドライエッチング。フィルターとして組み立てて、冷凍庫に入れて特性を評価。
エンドウ サイトウ タカハシ
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