HOME 教育状況公表 令和3年6月14日
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表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサ


奥山澄雄7,高松幸樹,小刀稱淳,菊池正竜,奥山克郎,松下浩一, 平成15年電気学会全国大会(仙台, 2003) 3-121 , 仙台,



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奥山澄雄7,高松幸樹,小刀稱淳,菊池正竜,奥山克郎,松下浩一. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/Academic/@Meeting.asp?nMeetingID=149'> <q><cite> 表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサ </q></cite> </a>.
平成15年電気学会全国大会(仙台, 2003) 3-121, 仙台. 2003.
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