無機工業化学

フォトリソグラフィーとその応用について調べよう

フォトリソグラフィー

  1 フォトリソグラフィー
© 2006 K.Tachibana * , C1 Lab. HPC, NCV

工場見学に行こう!

最新工業化学p.163図6.4印刷用凸版、p.164図6.5プリント基板 1 ) 、現代の電気化学p.182図7.8バイポーラIC、p.183図7.9nMOS-ICの 製造プロセスから一つ選び、印刷プロセスや半導体プロセスなど、 光や電子線を使ったモノづくり(フォトリソグラフィー)について、調べてみましょう。

光や電子線で作ったモノ(工業製品)をひとつ選びましょう。

  1 半導体デバイスの種類
種類 形式 用途
発光ダイオード ( LED* pn接合 照明、通信、レーザープリンタ
定電圧ダイオード pn接合、1SZ レギュレータ
バイポーラトランジスタ 2 )
(接合型トランジスタ)
2SA、2SB、2SC,2SD 3 )
モノポーラトランジスタ J-FET 2SK、2SJ
MOS-FET

フォトリソグラフィー によって、集積回路(IC)、大規模集積回路(LSI)と進歩しました 4 )

選んだ工業製品が現在抱えている課題について議論し、 それを解決するための商品を提案しましょう。 提案は、メーカーの研究開発の立場で行うこと。 リサイクルやリユースは、メーカーの立場ではありません。

その商品を開発するために、下記の表から、部門を選び、その立場で議論しましょう。 それぞれ部門がそのように研究開発計画に参入すればよいか、 ガントチャート にまとめてみましょう。

  2 間接部門と直接部門 *
分類 部門 説明
間接部門 研究・開発 新商品の 研究開発
知財・法務 特許 戦略を立てる。 係争になりそうな案件はイヤ!
人事 人件費がかかりそうな案件はイヤ!
総務 給与計算、勤怠管理、評価など。働き方改革に逆行する案件はイヤ!
直接部門 営業 受注、クレーム対応。利幅の取れないのはイヤ!
技術 メンテナンスに手間のかかる設備の導入はイヤ!
生産技術 工程の設計。作業標準の作成。 十分な試作データのない新製品はイヤ!
生産管理 生産量の管理、納期の管理、資材と製品の在庫管理。 仕掛品が多いのはイヤ!
購買 コスト(固定費、変動費) 5 ) 、安定供給元の確保、納期の確認。 入手しづらい資材を使うのはイヤ!
製造 無理、無駄、ムラをなくす。タクトタイムを短く。シフト管理。 手間が増えて複雑なのはイヤ!
品質管理 検査基準の作成。 許容誤差の指定がなく、良否の判断ができないのはイヤ!

例)

最新工業化学p.164図6.5プリント基板を選んだ。

プリント基板の中でも、フレキシブル基板(FPC基板)の用途は、可動部分への配線や立体的な配線に使われ、例えばプリンターのヘッドに電気信号を伝える配線などに使われる。

従来、プリント基板は、絶縁基板に銅メッキし、フォトレジストを塗布、パターンを感光後、不要な銅をエッチング除去して、配線を行ってきた。 しかし、この方法では、工程数が多く、リードタイムが長い、廃棄物がおおく環境負荷が大きいなど課題があった。 そこで銀ナノ粒子インクとインクジェットプリンタを使って、プリント基板を作るプリンテッドエレクトロニクスが話題になっている。 しかし、プリンテッドエレクトロニクスは、いくつかの致命的な課題を抱えており、フォトリソグラフィーをすべて代替することは現実的でないと考える。 https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/column/18/00001/03203/ https://xtech.nikkei.com/dm/atcl/column/15/358367/041500015/

プリント配線基板の製造工程

架橋不溶化(露光)
現像
エッチング
レジスト除去
  2 プリント配線基板の製造工程
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6 ) 7 )


✍ 平常演習

平常演習の配点と取り扱いについて

平常演習の配点は、授業1回ごとに、一律加点です。 平常演習には、ワークショップ、意見交換、発表、質疑応答など授業時間内の学習活動を含みます。 そのほかに授業時間外の0.5時間の学習活動を含みます。 平常点は、学期末に WebClass成績評価申請書 に申告していただき集計します。

授業時間外の活動の一助としてWebClassへの提出を推奨します。〆切は講義後1週間です。 ただし平常点の加点は、授業時間内の学習活動も含みます。 WebClass への提出のみでの、平常点の申告はご遠慮ください。

WebClass への平常演習提出は、推奨しますが、必須ではありません。 提出されていなくとも、 成績評価申請書 に、各回の授業時間以外の0.5時間の取り組みが申告されれば十分です。未提出だからと心配することはありません。

成績評価申請書 では、それぞれの授業で何を学び身につけたかを申告してもらいます。 WebClass に提出したかどうかより、身につけることを優先してください。 授業で取り上げたトピックや、グループワークの意見交換の内容は、期末までノート 8 ) などに記録しておくことを推奨します。 逆に授業に参加していないのに、WebClassの出席や提出だけの場合は不正行為として扱うことがあります。 平常の取り組みだけで、「到達目標を最低限達成している。成績区分:C」となります。 評点が60点に満たない場合は、不合格となります。 欠席した場合、課外報告書へ取り組むことで挽回してください。 出席が60%に満たない場合、課外報告書を提出しても、単位認定できません。


参考文献


QRコード
https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/Public/53202/_11/q_095.asp
名称: 教育用公開ウェブサービス
URL: 🔗 https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/
管理運用 山形大学 学術情報基盤センター

2024年1月21日 松木健三名誉教授がご逝去されました。

名称:C1ラボラトリー
URL:🔗 https://c1.yz.yamagata-u.ac.jp/
管理運用
山形大学 工学部 化学・バイオ工学科 応用化学・化学工学コース
C1ラボラトリー ( 伊藤智博立花和宏 ) @ 米沢

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