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0011.0004.  フォトリソグラフィー

立花 和宏
https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/Public/53202/53202_11.asp

この 講義 無機工業化学 の単元です。 この講義(フォトリソグラフィー)の親単元は マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体― です。

初版

機能材料

ホトレジスト

ネガレジスト

ポジレジスト

ホトレジストの応用例

印刷用凸版

プリント基板配線

集積回路

電子線レジスト


出典:
光機能材料
(野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, p.161. ) 1)

関連の展示品

参考文献( 書籍雑誌URL )

課題



<li> <article> Minobu-Town. <q><cite> フォトリソグラフィー </q></cite>. 山形大学,  <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=11133'> 無機工業化学 <a/a> 講義ノート, 2018. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741'> https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741 </a> ,  (参照 <time datetime="2019-11-19">2019-11-19</time>). </article> </li>

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