👨‍🏫 0011.0004. フォトリソグラフィー

立花　和宏

無機工業化学では、「マンガ本がなくなったら―印刷技術と半導体― 」の中で、「フォトリソグラフィー」について述べられています ⇒#4741@講義;。

📆 2018-6-18 2018-6-18 初版

#フォトリソグラフィー

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フォトリソグラフィー

(1) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. p.161.

◇ 参考文献( 書籍・雑誌・URL )

(1) 堂山昌男・山本良一. セラミックス序論. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(2) 山下正通、小沢昭弥. ｎMOSICの製造プロセス. 現代の電気化学. 丸善, 2012/04/01.
(3) 堂山昌男・山本良一. 電子伝導性. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(4) 宮崎正勝. モノの世界史（目次）. モノの世界史. 原書房, 2002/07/31.
(5) 新日鉄製鉄（株）. 鉄の未来が見える本（目次）. 鉄の未来が見える本. 日本実業出版社, 2007/01/20.
(6) 堂山昌男・山本良一. 先端技術におけるセラミックス. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(7) 堂山昌男・山本良一. 複合系および接合系における電子伝導. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(8) 堂山昌男・山本良一. 熱的物性. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(9) 堂山昌男・山本良一. セラミック材料（目次）. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(10) 堂山昌男・山本良一. 電気的物性. セラミック材料. 東京大学出版会, 1986/04/25.
(11) . 光学的物性. セラミック材料. , .
(12) . 誘電性. セラミック材料. , .
(13) . イオン伝導性. セラミック材料. , .
(14) . 機械的物性. セラミック材料. , .
(15) . 圧電性と焦電性. セラミック材料. , .
(16) . 強誘電性. セラミック材料. , .
(17) . 材料物性とセラミックス. セラミック材料. , .
(18) . 先端技術におけるセラミックス. セラミック材料. , .
(19) . 電力輸送技術送電. セラミック材料. , .
(20) . 材料物性とセラミックス . セラミック材料. , .
(21) . セラミック材料（目次）. セラミック材料. , .
(22) . グループボード. . https://gb.yz.yamagata-u.ac.jp/c/l/3293/, (参照2009-5-1).
(23) . 感染症情報センター. . http://idsc.nih.go.jp/index-j.html, (参照2009-5-1).
(24) . インフルエンザＱ＆Ａ. . http://www.mhlw.go.jp/bunya/kenkou/kekkaku-kansenshou04/02.html, (参照2009-5-2).
(25) . 新型インフルエンザ. . http://www.mhlw.go.jp/bunya/kenkou/kekkaku-kansenshou04/index.html, (参照2009-5-2).
(26) . WebClass. . https://ecsylms1.kj.yamagata-u.ac.jp/webclass/login.php?group_id=135320253710, (参照2013-4-24).
(27) . C1. . /amenity/~host/yz/c1/Education/Industry.htm, (参照2014-5-2).
(28) . Edu. . https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/Public/53202/53202.asp, (参照2015-6-12).
(29) Kawashima Selkon Textiles Co., Ltd.. 川島織物. 川島織物. http://www.kawashimaselkon.co.jp/index.html, (参照2015-6-12).
(30) . 富岡製糸場. . http://www.tomioka-silk.jp/hp/index.html, (参照2015-6-12).
(31) . トヨタ産業技術館. . http://www.tcmit.org/, (参照2015-6-12).
(32) . グンゼ博物苑. . http://www.gunze.co.jp/gunzehakubutu/, (参照2015-6-12).
(33) . 愛知県岡崎･八丁味噌. . https://gurutabi.gnavi.co.jp/a/a_216/, (参照2017-10-18).
(34) . 花火について. . http://www.san-en-fireworks.com/introductions/300introductions.html, (参照2017-10-18).
(35) . 金融資料館. . https://www.77bank.co.jp/museum/okane/0813.htm, (参照2017-10-21).
(36) Minobu-Town. 灰吹き法. . https://www.town.minobu.lg.jp/kinzan/tenji/haihuki.html, (参照2017-10-21).

✍ 平常演習

💯 課外報告書 Web Class

Minobu-Town.フォトリソグラフィー. 山形大学, 無機工業化学講義ノート, 2018. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741 , （参照 2024-11-22）.


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フォトリソグラフィー
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立花　和宏.
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フォトリソグラフィー
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山形大学, 
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無機工業化学
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講義ノート, 2018.

<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741'>
https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741
</a>
, 
（参照 <time datetime="2024-11-22">2024-11-22</time>）.
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