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水素吸蔵によるPdの膨張/収縮を利用した表面マイクロマシン水素ガスセンサ


奥山澄雄,土田朗義,豊田耕平,奥山克郎,長沼博,松下浩一, 第51回応用物理学関係連合講演会 (八王子, 2004.3) 30a-ZS-5 , 八王子,



水素吸蔵によるPdの膨張/収縮を利用した表面マイクロマシン水素ガスセンサ



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