⇒#1369@講義;
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半導体のつくり方―前工程
品質管理
では、
「
半導体のつくり方
」
の中で、
「半導体のつくり方―前工程」について
述べられています
⇒#1369@講義;。
📆
初版
基板上にIC回路を形成する工程です。
インゴットの引き上げ
インゴットの切断
ウエーハの研磨
ウエーハ表面を酸化
フォトレジスト塗布
回路設計・パターン設計
フォトマスク作成
ウエーハ表面にパターン形成
エッチング
酸化・拡散・CVD・イオン注入
平坦化
電極形成
ウエーハ検査
不良=異物、不純物、汚染
【参考】
1)
2)
よくわかる最新半導体の基本と仕組み(目次)3)
4)
半導体部会5)
6)
<h3 >
<a id='yznl1369' href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369'>
👨🏫
</a>
<a href='http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/'>
半導体のつくり方―前工程
</a>
</h3>
<!-- 講義ノート 講義ノート 講義ノート -->
<li>
<article>
妹能晴弥;立花和宏;仁科辰夫;.
<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369'>
<q><cite>
半導体のつくり方―前工程
</q></cite>
</a>.
山形大学,
<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=10236'>
品質管理
<a/a>
講義ノート, 2007.
<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369'>
https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1369
</a>
,
(参照 <time datetime="2024-9-8">2024-9-8</time>).
</article>
</li>
</article>
<!-- 講義ノート 講義ノート 講義ノート -->
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