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XPS測定

日時
関係者(共同研究者)

http://c1.yz.yamagata-u.ac.jp/c1_2005.html

X線光電子分析装置(ESCA-1000)1
ESCA-1000用データシステム(島津製作所 ESCA-VISION2)2

私のXPS測定の経験では,酸化物などの場合帯電によるずれはかなり
顕著に起こり,それも測定ごとに大きく動きますので,C1sによる補正は必ず
行う必要があります。現スペクトルでもある程度の予測は可能でしょうが,
もし装置が傍にあって,マシンタイムが取りやすいなら再測定をする方が
確実とは思います。

EPMA(EDX)によるAl,O,Fの原子比を測定しておく(膜が薄いのでAlが強く
なるでしょうが,OとFの比は確実に出ます)のも宜しいのではないでしょうか。


>引き続き膜厚の測定をしてくださるとのことで大変感謝しております。
>お忙しい中、時間を割いていただいてくださりありがとうございます。
>
>さて、ご質問にありましたESCA測定でのチャージアップによる結合エネルギーの補

>についてですが、今回のデータについては行っておりません。
>これは私の不徳の致すところでC1sのデータを測定しておりませんでした。
>
>そこで今回のデータの帯電によるシフトを、AlF3,Al2O3,AlについてのAl2p軌道の結
>合エネルギーと文献値のAl2p軌道の結合エネルギーを比較して算出してみました。

>データのAlF3と思われるAl2pの結合エネルギーは78.5ev、生データのAl2O3と思われ
>る結合エネルギーは75.5ev、生データのAl-Alと思われる結合エネルギーは72.5eで

>た。文献値によるAlF3,Al2O3,Al-AlのAl2pの結合エネルギーはAlF3が75.8ev, Al2O3
>が74.0ev, Al-Alが71.3evでした。従いまして帯電による結合エネルギーのシフトは
>おおよそ1.2から2.7evの範囲内で高エネルギー側にシフトしていると思われます。

>かしながら、今回のサンプルでは純粋なAlF3,Al2O3,Al-Al結合ではないと思われま

>のであくまで目安としての補正になってしまいます。
>
>小野先生からのご質問を受けまして今回の件で大変勉強になりました。正直なとこ

>データについて帯電補正を考えておりませんでした。次回からの測定ではC1sの
284ev
>からのズレをきちんと確認するようにいたします。貴重なご意見ありがとうござい

>した。
>
>他に何かご質問等あれば連絡してください。(私としても大変勉強になります)。
>
>長々とした文章失礼いたしました。
>今後ともよろしくお願いいたします。


(1X線光電子分析装置.
(2ESCA-1000用データシステム.


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