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  エッチングとフォトリソグラフィー

立花和宏、仁科辰夫
http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/

この 講義 エネルギー化学 の単元です。 この講義(エッチングとフォトリソグラフィー)の親単元は ―エッチングと腐食― です。

初版

半導体デバイスと集積回路技術

-n接合
接合トランジスタ
電界効果トランジスタ
集積回路
集積回路プロセス技術
バイポーラICn製造プロセス
MOS-ICの製造プロセス

エレクトロニクスと電気化学1)


出典:
半導体デバイスと集積回路
(山下正通、小沢昭弥. 現代の電気化学. 丸善, . ) 1)

フォトリソグラフィー2)

塩化鉄(Ⅲ)鉄(Ⅲ)イオン3)


関連の展示品

参考文献( 書籍雑誌URL )

課題



<li> <article> TDK Corporation. <q><cite> エッチングとフォトリソグラフィー </q></cite>. 山形大学,  <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=11273'> エネルギー化学 <a/a> 講義ノート, 2019. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4901'> https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4901 </a> ,  (参照 <time datetime="2019-5-26">2019-5-26</time>). </article> </li>

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