エッチングとフォトリソグラフィー

https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/Public/52255/52255_12.asp#52255_12_etching
エネルギー化学 の単元です。

小単元

概要

卒業研究(C1-電気化学2004〜) では、 「 デジタルってなに?―デジタル社会― 」 の中で、 「画像のアナログ記録−写真製版とフォトリソグラフィー−」について 述べられています 画像のアナログ記録−写真製版とフォトリソグラフィー−1)。

写真製版とPS版。

半導体 トランジスタ FET 電子部品

2)

フォトリソグラフィー3)

銅・塩化鉄(�V)・鉄(�V)イオン(Fe3+)


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参考文献( 書籍 ・論文 ・URL)