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🌡️ 📆 令和6年7月19日
⇒#4411@講義;

👨‍🏫   東芝 セミコンダクター&ストレージ社 四日市工場

仁科 辰夫

仁科先生の工場見学ルポ では、 「 電気・電子(コンデンサ) 」 の中で、 「東芝 セミコンダクター&ストレージ社 四日市工場」について 述べられています ⇒#4411@講義;。

📆 初版
#研究

600工程を数ヶ月でこなす半導体。15ナノメートルの線幅を190ナノメートルの波長で正確に描画。配線は銅メッキ。チタン原子一層をレジストの内側に塗り、電解メッキで仕上げる。高アスペクトのためまるで井戸の底から上まで積み上げる感じだ。レーザー干渉計での位置決めでは1トンにもなるステッパをナノメートル単位で制御する。タクトタイムを上げようとすると空気の粗密波が出て屈折率が変化し、位置決めの問題になるという。

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表


◇ 参考文献( 書籍 ・雑誌 ・URL )


✍ 平常演習

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<h3 > <a id='yznl4411' href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4411'> 👨‍🏫 </a> <a href='http://www.toshiba.co.jp/contact/guide/map/yokkaichi_op.htm'> 東芝 セミコンダクター&ストレージ社 四日市工場 </a> </h3>

<!-- 講義ノート  講義ノート  講義ノート  -->
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<article> 仁科 辰夫. <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4411'> <q><cite> 東芝 セミコンダクター&ストレージ社 四日市工場 </q></cite> </a>.
山形大学,  <a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Syllabus.asp?nSyllabusID=11028'> 仁科先生の工場見学ルポ <a/a> 講義ノート, 2015.
<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4411'> https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4411 </a> ,  (参照 <time datetime="2024-7-19">2024-7-19</time>). </article> </li>
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