６００工程を数ヶ月でこなす半導体。１５ナノメートルの線幅を１９０ナノメートルの波長で正確に描画。配線は銅メッキ。チタン原子一層をレジストの内側に塗り、電解メッキで仕上げる。高アスペクトのためまるで井戸の底から上まで積み上げる感じだ。レーザー干渉計での位置決めでは１トンにもなるステッパをナノメートル単位で制御する。タクトタイムを上げようとすると空気の粗密波が出て屈折率が変化し、位置決めの問題になるという。 1) 2)(1) 伊藤智博、立花和宏、仁科辰夫. 電気化学の庵：三重県. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=793. (参照2006-07-26).(2) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：東北エプソン＠山形県酒田市. /amenity/Syllabus/@Lecture.asp?nLectureID=5255. (参照2022-09-28).
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