フローチャート

卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面図表図形の表現が併用されます。 グラフ回路図フローチャート写真イラスト地図などがあります。 3Dも図面です。 数式化学式、反応式などの も図面として、本文とは別に扱われます。


インゴット引き上げ
インゴット切断
ウエーハの研磨
酸化
フォトレジスト塗布
回路設計・パターン設計
フォトマスク作成
ウエーハ表面にパターン形成(露光)
CVD・イオンプランテーション
平坦化
電極形成
ウエーハ検査
  1 半導体前工程
11 無機工業化学 12 エネルギー化学 フローチャート 東北エプソン 東芝セミコンダクタ

↓C還元
↓Cl2
↓HCl
SiHCl3
↓蒸留
SiHCl3
H2還元
  2 シリコンおよびシリカ系材料製造工程
11. 無機工業化学 フローチャート

フローチャートを協働作成 フローチャートの記号