卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。
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卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。
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インゴット引き上げ
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インゴット切断
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ウエーハの研磨
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酸化
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フォトレジスト塗布
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回路設計・パターン設計
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フォトマスク作成
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ウエーハ表面にパターン形成（露光）
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ＣＶＤ・イオンプランテーション
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平坦化
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電極形成
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ウエーハ検査
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ケイ素単結晶は、 共有結合の結晶なので、高分子化合物と言えます。
高純度シリコンは、粗ケイ素を塩素及び塩化水素と反応させ、トリクロロシランの形で、精密蒸留したのち、還元して製造される 4 ) 。 半導体用には引き上げ法を用いて単結晶とする。 5 )
ケイ素やゲルマニウムは、 間接遷移型半導体 なので、ほとんど光りません。 GaN、GaAs、InP、InAsなどの化合物半導体は、 直接遷移型半導体 なので、発光ダイオードや半導体レーザに使われます。 *
赤﨑と天野は、合成のガスの種類を工夫し、 低温堆積バッファ層技術で、ｐ型GaNの合成に成功しました。 * それが青色ＬＥＤとなりました 。
