卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。
卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。
インゴット引き上げ
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インゴット切断
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ウエーハの研磨
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酸化
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フォトレジスト塗布
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回路設計・パターン設計
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フォトマスク作成
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ウエーハ表面にパターン形成(露光)
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CVD・イオンプランテーション
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平坦化
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電極形成
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ウエーハ検査
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