フローチャート

インゴット引き上げ

インゴット切断

ウエーハの研磨

酸化

フォトレジスト塗布

回路設計・パターン設計

フォトマスク作成

ウエーハ表面にパターン形成（露光）

エッチング

ＣＶＤ・イオンプランテーション

平坦化

電極形成

ウエーハ検査

^{1 )}

^{2 )}

ケイ砂
↓C還元
Si
↓Cl2
SiCl4
↓HCl
SiHCl3
↓蒸留
SiHCl3	→	SiO2
↓ H2還元
Si

高純度シリコンは、粗ケイ素を塩素及び塩化水素と反応させ、トリクロロシランの形で、精密蒸留したのち、還元して製造される。 半導体用には引き上げ法を用いて単結晶とする。 ^{3 )}