卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。
卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。
インゴット引き上げ
|
インゴット切断
|
ウエーハの研磨
|
酸化
|
👨🏫
フォトレジスト塗布
|
⬇ |
回路設計・パターン設計
|
フォトマスク作成
|
ウエーハ表面にパターン形成(露光)
|
⬇ |
CVD・イオンプランテーション
|
平坦化
|
電極形成
|
ウエーハ検査
|
ケイ素単結晶は、 共有結合の結晶なので、高分子化合物と言えます。
高純度シリコンは、粗ケイ素を塩素及び塩化水素と反応させ、トリクロロシランの形で、精密蒸留したのち、還元して製造される 4 ) 。 半導体用には引き上げ法を用いて単結晶とする。 5 )
ケイ素やゲルマニウムは、 間接遷移型半導体 なので、ほとんど光りません。 GaN、GaAs、InP、InAsなどの化合物半導体は、 直接遷移型半導体 なので、発光ダイオードや半導体レーザに使われます。 *
赤﨑と天野は、合成のガスの種類を工夫し、 低温堆積バッファ層技術で、p型GaNの合成に成功しました。 * それが青色LEDとなりました 。