フローチャート

卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、図面、図表、図形の表現が併用されます。グラフ、回路図、フローチャート、写真、イラスト、地図などがあります。 3Dも図面です。数式、化学式、反応式などの式も図面として、本文とは別に扱われます。

インゴット引き上げ

インゴット切断

ウエーハの研磨

酸化

👨‍🏫 フォトレジスト塗布

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回路設計・パターン設計

フォトマスク作成

ウエーハ表面にパターン形成（露光）

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ＣＶＤ・イオンプランテーション

平坦化

電極形成

ウエーハ検査

図 1 . 半導体前工程

^1

)

^2

)

図 2 . シリコンおよびシリカ系材料製造工程

高純度シリコンは、粗ケイ素を塩素及び塩化水素と反応させ、トリクロロシランの形で、精密蒸留したのち、還元して製造される ^3

) 。半導体用には引き上げ法を用いて単結晶とする。 ^4

)

ケイ素やゲルマニウムは、間接遷移型半導体なので、ほとんど光りません。 GaN、GaAs、InP、InAsなどの化合物半導体は、直接遷移型半導体なので、発光ダイオードや半導体レーザに使われます。 *

赤﨑と天野は、合成のガスの種類を工夫し、低温堆積バッファ層技術で、ｐ型GaNの合成に成功しました。 * それが青色ＬＥＤとなりました。