フローチャート

卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面、図表、 図形の表現が併用されます。 グラフ、 回路図、 フローチャート、 写真、 イラスト、 地図などがあります。 3Dも図面です。 数式、 化学式、反応式などの 式も図面として、本文とは別に扱われます。

フローチャートを協働作成 フローチャートの記号

アンモニア製造工程

空気: air
↓
↓
分留
水蒸気改質 (改質炉)
↓
↓
窒素: N2
水素 :H2
→
↓
←
加熱 600℃、 加圧
↓
🏞 アンモニア: NH3
図   1 .  アンモニア製造工程

アンモニアは、 肥料、 硝酸、 樹脂、 繊維、 火薬、 ソーダ灰 などの原料になります。

600℃、1000気圧に耐える反応器が必要です。 ボッシュは合成装置の内側に炭素の少ない軟鉄を、内張りして、外側を普通鋼にして圧力に耐える反応器を工夫しました。近年は、鉄触媒の改良により、200気圧程度まで、圧力を下げています 1 ) 。

混合ガスを圧縮機で反応器に供給し、パージのバルブの流量で温度と圧力を制御します。 温度・ 圧力・流量は、自動制御され、安全な 連続運転を実現しています。

アンモニア製造におけるハーバー・ボッシュ法、 硫酸 製造における 接触法や、 硝酸 製造におけるアンモニア酸化法 などではいくら 触媒 を工夫しても収量は変わらない。

👨‍🏫 * * * 2 ) 🏞 アンモニア 👨‍🏫 日本肥料アンモニア協会 👨‍🏫 ドイツ連邦共和国(Federal Republic of Germany)@欧州

インゴット 引き上げ
インゴット切断
ウエーハの研磨
酸化
⬇
回路設計・パターン設計
フォトマスク作成
ウエーハ表面にパターン形成(露光)
⬇
CVD・イオンプランテーション
平坦化
電極形成
図   2 .  半導体前工程

露光は、開口数の大きなの反射露光装置を使い、 波長が13.5nm以下の、EUV(極端紫外線)を使い、空気中での露光を捨てて、液浸のマルチパターニングで、1.8nmの線幅のマスクを実現している

3 )

4 )

👨‍🏫 日本半導体製造装置協会 * 👨‍🏫 シャープ歴史・技術ホール天理(奈良) 👨‍🏫 東芝 セミコンダクター&ストレージ社 四日市工場 👨‍🏫 東北エプソン@山形県酒田市

ケイ砂
↓C還元
↓Cl2
↓HCl
SiHCl3
↓ 蒸留
SiHCl3
→
↓ H2還元
🏞 🧪 Si
図   3 .  シリコンおよびシリカ系材料製造工程

ケイ素単結晶は、 共有結合の結晶なので、高分子化合物と言えます。

高純度シリコンは、粗ケイ素を塩素及び塩化水素と反応させ、トリクロロシランの形で、精密蒸留したのち、還元して製造される 5 ) 。 半導体用には引き上げ法を用いて単結晶とする。 6 )

ケイ素やゲルマニウムは、 間接遷移型半導体 なので、ほとんど光りません。 GaN、GaAs、InP、InAsなどの化合物半導体は、 直接遷移型半導体 なので、 発光ダイオードや半導体レーザに使われます。 *

赤﨑と天野は、合成のガスの種類を工夫し、 低温堆積バッファ層技術で、p型GaNの合成に成功しました。 * それが青色LEDとなりました 。


PDCAサイクル

Plan
Do
Check
Action
図   4 .  PDCAサイクル
UML( mermaid)⇒ svg⇒ HTML

◇ 参考文献


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🏫 学問の自由 は、心の自由。 大学では、精神は自由であらねばならない。(松木健三)
📆 20251028 明日からやろう!インピーダンス測定・解析
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