フローチャート

卒業論文、修士論文、博士論文、学術論文、特許明細書などでは、 図面図表図形の表現が併用されます。 グラフ回路図フローチャート写真イラスト地図などがあります。 3Dも図面です。 数式化学式、反応式などの も図面として、本文とは別に扱われます。

フローチャートを協働作成 フローチャートの記号

アンモニア製造工程

空気: air
分留
改質炉
窒素: N2
水素 :H2
加熱 600℃、 加圧
🏞 アンモニア: NH3
  1 アンモニア製造工程

アンモニア製造におけるハーバー・ボッシュ法、 硫酸 製造における接触法や、 硝酸 製造におけるアンモニア酸化法などではいくら 触媒 を工夫しても収量は変わらない。

👨‍🏫 * * * 1 )

インゴット引き上げ
インゴット切断
ウエーハの研磨
酸化
👨‍🏫 フォトレジスト塗布
回路設計・パターン設計
フォトマスク作成
ウエーハ表面にパターン形成(露光
CVD・イオンプランテーション
平坦化
電極形成
ウエーハ検査
  2 半導体前工程

2 )

3 )

👨‍🏫 日本半導体製造装置協会 *

ケイ砂
↓C還元
↓Cl2
↓HCl
SiHCl3
蒸留
SiHCl3
H2還元
🏞 🧪 Si
  3 シリコンおよびシリカ系材料製造工程

ケイ素単結晶は、 共有結合の結晶なので、高分子化合物と言えます。

高純度シリコンは、粗ケイ素を塩素及び塩化水素と反応させ、トリクロロシランの形で、精密蒸留したのち、還元して製造される 4 ) 。 半導体用には引き上げ法を用いて単結晶とする。 5 )

ケイ素やゲルマニウムは、 間接遷移型半導体 なので、ほとんど光りません。 GaN、GaAs、InP、InAsなどの化合物半導体は、 直接遷移型半導体 なので、発光ダイオードや半導体レーザに使われます。 *

赤﨑と天野は、合成のガスの種類を工夫し、 低温堆積バッファ層技術で、p型GaNの合成に成功しました。 * それが青色LEDとなりました


PDCAサイクル

Plan
Do
Check
Action
  4 PDCAサイクル
UML( mermaid)⇒ svgHTML

参考文献


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🏫 学問の自由 は、心の自由。 大学では、精神は自由であらねばならない。(松木健三)
📆 20250711 リチウムイオン二次電池 東京・きゅりあん
名称:C1ラボラトリー
URL:🔗 https://c1.yz.yamagata-u.ac.jp/
管理運用
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