ニオブ固体電解コンデンサのアノード酸化皮膜上へのカソード材形成過程の解析をしました。
緒言:ニオブ固体電解コンデンサはカソード材料形成方法として硝酸マンガンの熱分解反応を用いる。そこで熱分解反応によるカソード材料形成過程の観察を行った。
実験方法:試料にリン酸中で20Vまでアノード酸化したニオブを用いた。酸化皮膜上に濃度を変えた硝酸マンガンを付着させ顕微鏡加熱装置で観察しながら1℃/minで昇温した。140℃まで昇温後、自然冷却した。その後SEMでニオブ表面を観察しEDXでマンガン、酸素の有無を確認した。
結果:Table 1 にイオン交換水で濃度を変えた硝酸マンガンが熱分解反応し始めた温度を示す。硝酸マンガンの濃度を薄めると熱分解温度が下がり、さらにSEMでの観察の結果、濃度を薄めるごとに二酸化マンガンの層が薄くなった。また硝酸マンガン溶液の沸騰時の気泡の発生が、熱分解後の二酸化マンガンの形状に大きく関与していた。
1WT%、84℃
100WT%、113℃
デジタルハイスコープ1)
2)