バルブメタルのアノード酸化 バルブメタルとは、電流を一方向にしか流さない金属の総称で、アノード酸化により金属表面がその金属の酸化物の皮膜で覆われるアルミニウム、チタン、ジルコニウム、ニオブ、ハフニウム、タンタルなどがある。バルブメタル(M)のアノード酸化皮膜生成反応は一般に(1)式のように表せる。 M+nH?O → MOn+2nH?+2ne ・・・ (1) アノード酸化によってバルブメタルの表面に生成する皮膜には、緻密なバリア皮膜と多孔質のポーラス皮膜がある。コンデンサの誘電体として使われるのはバリア皮膜である。バリア皮膜の生成機構は古くから論じられており高電場機構と呼ばれている。