（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所 （株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市1) 東北パイオニア米沢事業所東北パイオニア米沢事業所＠山形県米沢市2) 【関連講義】 半導体原料製造3) 無機工業化学,半導体とフォトリソグラフィー半導体とフォトリソグラフィー（２００７）4) 2007-09-01 ２００７年９月 2006-08-01 ２００６年８月 半導体 (株)ＳＵＭＣＯ米沢工場（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市5) テクノクオーツ(株) (1) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1744. (参照2007-09-27).(2) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：東北パイオニア米沢事業所＠山形県米沢市. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1723. (参照2003-09-02).(3) 伊藤 智博. 無機工業化学：半導体原料製造. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1647. (参照2007-11-15).(4) 伊藤 智博. 無機工業化学：半導体とフォトリソグラフィー（２００７）. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1643. (参照2007-12-13).(5) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1744. (参照2007-09-27).
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