1) 大矢勝らは2009年に洗浄のメカニズムについて洗浄のメカニズム大矢勝、表面技術 分離型洗浄溶解型洗浄分解型洗浄 超音波洗浄 【関連講義】品質管理,CF基板側2) と述べている3)。CF基板側,液晶パネルのつくり方立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, (2009).(1) ダイヤモンドライクカーボン膜の実用化―現状と展望, ,10,567(2007).(2) CF基板側,液晶パネルのつくり方立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, (2009).(3) 洗浄のメカニズム大矢勝, 表面技術,60,85(2009).