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🌡️ 📆 令和6年4月20日

真空蒸着

1.

真空通常P=10^-5Torr以下1)物質加熱発生した蒸気基板上に凝縮付着させて作る薄膜のドライプロセス融点の高いタングステンなどバスケフィラメントに使いますが融点の高くタングステン合金化しやすいニオブタンタルなど蒸着するときはダメモトりましょう

食品包装などに使われる機能性プラスチクフィルム機能あたえるのにはアルミニウムアルミナなど蒸着したりします2)

ドライプロセス3)

食品、包装、バイオ(2008),2008年(H20年度)―無機工業化学
立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, (2008).

(1P圧力pressureパスカル, (物理量).
(2食品、包装、バイオ(2008),2008年(H20年度)―無機工業化学
立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, (2008).
(3ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学 基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).
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