🏠
令和8年2月9日 （月）

スパッタリング

語釈1.

アルゴンなどを電界で加速した高いエネルギーをもった粒子を固体に衝突させると、固体表面の原子や分子などが固体表面からたたき出されます。これをスパッタリング現象といいます。その近くに基板などをおけば基板の上に原子や分子が堆積して薄膜が形成されます。このような薄膜形成のドライプロセスをスパッタリングといいます1)。高エネルギー粒子の生成にマグネトロンを使ったスパッタリングをマグネトロンスパッタリングといいます。
(1) ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学　基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).
#🗒️👨‍🏫アルゴン#🗒️👨‍🏫電界#🗒️👨‍🏫エネルギー#🗒️👨‍🏫固体#🗒️👨‍🏫表面#🗒️👨‍🏫原子#🗒️👨‍🏫分子#🗒️👨‍🏫ドライプロセス#🗒️👨‍🏫薄膜#🗒️👨‍🏫マグネトロン#🗒️👨‍🏫堆積

◇ 参考文献

QRコード
https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Keyword.asp?nKeywordID=2793
名称： 教育用公開ウェブサービス
URL： 🔗 https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/
管理運用 ： 山形大学 学術情報基盤センター
🎄🎂🌃🕯🎉
名称： サイバーキャンパス「鷹山」
URL: 🔗 http://amenity.yz.yamagata-u.ac.jp/
管理運用 ： 山形大学 データベースアメニティ研究会
〒992-8510 山形県米沢市城南4丁目3-16
Copyright ©1996- 2026 Databese Amenity Laboratory of Virtual Research Institute,  Yamagata University All Rights Reserved.