HOME 教育状況公表 令和3年3月4日

洗浄

1.

あらってきれいにさっぱりする技術です1)固体試料表面に付着した目的以外の物質力学エネルギー熱エネルギーによって除去すなわち物質輸送すること輸送された対象は廃棄物なることに注意しましょう衣服洗剤水溶液に浸して洗浄して乾燥すればお洗濯おわりですね

表面洗浄することは電気化学実験するときにとても大事ですただし実験後に試料ガラス器具洗浄するときは有害化学物質環境放出しないように注意しましょう

金属洗浄のときまず除去すべき対象は圧延加工などによる油脂あり脱脂もよばれますしかし切り子や研磨粒はもちろん金属酸化物なども除去の対象になることがありますまた洗浄そのものが汚染源にならないように注意払わなくてはなりませんあやまった洗浄はいたらづらに洗浄工程複雑にしたりかえって障害となります

液晶パネル半導体の製造では洗浄は非常に重要な技術です2)3)


たとえば半導体シリコンウエーハの洗浄工程には硫酸アンモニア塩酸それぞれ過酸化水素と混合した種類の薬液と希ッ酸処理含めた段階洗浄と回の超純水リンスからなるRCA洗浄呼ばれるプロセス広く利用されています4)

超音波洗浄ではキャビテーションがつぶれるときの衝撃波利用します5)

動画6)
ピカッとさいえんすDNA
http://c1.yz.yam…

品質管理 > 2007 > 第5講  > 液晶パネ > CF基板側,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).

ピカッと > ,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2010).

(1洗浄のメカニズム
大矢勝, 表面技術,60,85(2009).
(2品質管理 > 2007 > 第5講  > 液晶パネ > CF基板側,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(3 > 工場見学!モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(4 > LSI製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
(5 > エレクトロニクスの医療へ
吉岡安之, 電子の回廊, 日刊工業新聞社, (1994).
(6ピカッと > ,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2010).