語釈1.
あらってきれいにさっぱりする技術です1)。固体試料の表面に付着した目的以外の物質を力学エネルギーや熱エネルギーによって除去、すなわち物質輸送すること。輸送された対象は廃棄物となることに注意しましょう。衣服を洗剤の水溶液に浸して、洗浄して乾燥すればお洗濯はおわりですね。表面を洗浄することは電気化学の実験をするときにとても大事です。ただし、実験後に試料やガラス器具を洗浄するときは、有害な化学物質を環境に放出しないように注意しましょう。
金属を洗浄のときまず除去すべき対象は圧延加工などによる油脂であり、脱脂ともよばれます。しかし切り子や研磨粒はもちろん、錆、金属酸化物なども除去の対象になることがあります。また洗浄そのものが汚染源にならないように注意を払わなくてはなりません。あやまった洗浄はいたらづらに洗浄工程を複雑にしたり、かえって障害となります。
液晶パネルや半導体の製造では洗浄は非常に重要な技術です2)3)
。
たとえば半導体用シリコンウエーハの洗浄工程には、硫酸・アンモニア・塩酸をそれぞれ過酸化水素と混合した４種類の薬液と希フッ酸処理を含めた５段階洗浄と７回の超純水リンスからなる「RCA洗浄」と呼ばれるプロセスが広く利用されています4)。
超音波洗浄では、キャビテーションがつぶれるときの衝撃波を利用します5)。
【動画】6)
ピカッとさいえんす「菌（ＤＮＡ）」
http://c1.yz.yam…
品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネ > ＣＦ基板側,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
ピカッと > 菌,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2010).
(1) 洗浄のメカニズム
大矢勝, 表面技術,60,85(2009).
(2) 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネ > ＣＦ基板側,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(3) > 工場見学！モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(4) > ＬＳＩ製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003).
(5) > エレクトロニクスの医療へ
吉岡安之, 電子の回廊, 日刊工業新聞社, (1994).
(6) ピカッと > 菌,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2010).
大矢勝, 表面技術,60,85(2009).
(2) 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネ > ＣＦ基板側,液晶パネルのつくり方
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(4) > ＬＳＩ製造の前工程
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(5) > エレクトロニクスの医療へ
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(6) ピカッと > 菌,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2010).
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