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令和8年2月4日 (水)

熱CVD

語釈1.

原料ガスを高温に加熱して熱的に活性化し、化学反応を促進させ、基材上にコーティング単結晶、ウィスカーなどの析出物を得るドライプロセスです。切削工具の金型や、耐摩耗性コーティング、耐食性コーティングなどに使われます。PVDや他のCVDにくらべていろいろな金属合金セラミックス析出物が得られるという利点があります。
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