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令和8年10月22日 (木)

ゾーンメルト法

語釈1.

帯溶融法とも呼ばれます。半導体製造などでケイ素の純度を高める方法です。結晶を筒につめ、上部を高周波加熱で部分的に熱して溶融し、徐々に加熱部分を下方に移すと、不純物は最下部に集まってきます1)。
(1) 無機薬品・材料化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
#🗒️👨‍🏫半導体#🗒️👨‍🏫ケイ素#🗒️👨‍🏫加熱


◇ 参考文献


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