HOME 教育状況公表 令和4年8月13日

表面分析

1.

オージェ電子分光1)などで表面分析することです

固体表面照射された入射粒子や入射光と固体表面との相互作用の結果利用した分析法が多くあります入射粒子プローブしては電子イオンX線紫外線などが使われ表面相互作用ののちに反射してくる電子イオンX線光などの次粒子デテクトします

電子プローブ使った場合表面から放出される粒子は反射電子次電子オージェ電子連続X線特性X線吸着原子イオンなどです


(1オージェ電子分光測定装置.