⇒#8242@業績;

Suppression of InP Substrate Degradation by Hydrogen Plasma Caused by the Presence of Phosphorus Vapour

R.Schuetz, K.Matsushita, H.L.Hartnagel, J.Y.Longere, S.K.Krawczyk
, Electronics Lett., Vol.26, No.9, pp.564-566 , 1990-4-1


<!--　論文、特許、論文、特許　-->

<ul>

<li>

<article>

R.Schuetz, K.Matsushita, H.L.Hartnagel, J.Y.Longere, S.K.Krawczyk.
<a href='https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/Academic/@Achievement.asp?nAchievementID=8242'>
<q><cite>
Suppression of InP Substrate Degradation by Hydrogen Plasma Caused by the Presence of Phosphorus Vapour
</q></cite>
</a>.

, .
1990.

</article>

</li>

</ul>

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