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ＫｒＦエキシマ励起放電中の陰極輝点とガス温度の検討

南谷靖史，斎藤善夫，佐藤行雄
, 電気学会論文誌A，第117-A巻第7号，779頁～780頁 , 1997-7-1


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 南谷靖史，斎藤善夫，佐藤行雄.
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ＫｒＦエキシマ励起放電中の陰極輝点とガス温度の検討
</q></cite>
</a>.

, .
1997.

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