⇒#6148@業績;

誘導コイル結合型スパッタリングによるYBa2Cu3Oy薄膜の作製：日本金属学会誌61巻9号-特集（1997）。

誘導コイル結合型スパッタリングによるYBa2Cu3Oy薄膜の作製：日本金属学会誌61巻9号-特集（1997）。
, , 2001-1-1


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誘導コイル結合型スパッタリングによるYBa2Cu3Oy薄膜の作製：日本金属学会誌61巻9号-特集（1997）。
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2001.

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