007.  半導体原料製造

無機工業化学 の単元です。

小単元

概要

【関連講義】無機工業化学,半導体とフォトリソグラフィー1)

【取材】
（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所 2)
３Ｆ：山形県の工業3)

半導体とフォトリソグラフィー,２００７年（Ｈ１９年度）―無機工業化学
立花　和宏, 無機工業化学, 講義ノート, (2007).

（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所,非鉄金属（アルミニウム・銅）
仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2007).

３Ｆ：山形県の工業,山形県産業科学館
立花　和宏, お散歩の中にサイエンスを, 講義ノート, (2006).
(1) 半導体とフォトリソグラフィー,２００７年（Ｈ１９年度）―無機工業化学
立花　和宏, 無機工業化学, 講義ノート, (2007).
(2) （株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所,非鉄金属（アルミニウム・銅）
仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2007).
(3) ３Ｆ：山形県の工業,山形県産業科学館
立花　和宏, お散歩の中にサイエンスを, 講義ノート, (2006).

関連の展示品

参考文献（ 書籍 ・論文 ・ＵＲＬ）