東北エプソン＠山形県酒田市
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仁科先生の工場見学ルポ
の単元です。
小単元
概要
半導体
前工程
。
３００
工程
を
３
ヶ月でこなす半導体前工程
。
２００
ナノメートル
の線幅
を
正確に描画
。
フォトリソグラフィー
関連の
展示品
参考文献
（
書籍
・
論文
・ＵＲＬ）