表面技術（表面技術協会）
卒業研究（Ｃ１-電気化学２００４〜）
の単元です。
小単元
概要
1)
大矢勝らは2009年に洗浄のメカニズムについて洗浄のメカニズム大矢勝、表面技術 分離型洗浄溶解型洗浄分解型洗浄 超音波洗浄 【関連講義】品質管理,ＣＦ基板側2) と述べている3)。
(
1)
ダイヤモンドライクカーボン膜の実用化―現状と展望,
,
10,567(
2007).
(
2)
ＣＦ基板側,
液晶パネルのつくり方立花 和宏,
品質管理,
講義ノート, (
2009).
(
3)
洗浄のメカニズム大矢勝,
表面技術,
60,85(
2009).
