電子線を照射して飛び出してきた特性X線を測定します。 エネルギー1)、CPSX線強度2) EDX3) EDX, 測定装置.(1) E, エネルギー, energy, ジュール, (物理量).(2) , X線強度, , ベクレル, (物理量).(3) EDX, 測定装置.