スパッタ装置(オートファインコーター)


卒業研究(C1-電気化学2004〜) の単元です。

小単元

概要

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日本電子製JFC-1600オートファインコーター
白金ターゲについてお聞きしたくご連絡差し上げました

現在当該装置かなり高い頻度で使用しており
消耗した白金ターゲ改鋳して使用すること検討しております
取扱説明書記載の仕様では
直径57mm厚さ0.1mm標準とありましたが
この形状の白金であればよいという理解でよろしいでしょうか?

もしよろしければメーカー推奨のターゲの仕様お教えいただければ幸いで


どうぞよろしくお願いいたします

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AUTO FINE COATER1)

AUTO FINE COATER
,JFC-1600,,(JEOL,).

(1AUTO FINE COATER
,JFC-1600,,(JEOL,).

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参考文献書籍論文 ・URL)