スパッタ装置（オートファインコーター）
卒業研究（Ｃ１-電気化学２００４〜）
の単元です。
小単元
概要
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日本電子製JFC-1600オートファインコーターの
白金ターゲットについてお聞きしたくご連絡を差し上げました。
現在、当該装置をかなり高い頻度で使用しており
消耗した白金ターゲットを改鋳して使用することを検討しております。
取扱説明書記載の仕様では、
直径57mm、厚さ0.1mm（標準）とありましたが、
この形状の白金であればよいという理解でよろしいでしょうか？
もしよろしければ、メーカー推奨のターゲットの仕様をお教えいただければ幸いで
す。
どうぞよろしくお願いいたします。
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AUTO FINE COATER1)
