３Ｆ：山形県の工業

（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所 （株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市¹⁾

東北パイオニア米沢事業所東北パイオニア米沢事業所＠山形県米沢市²⁾

【関連講義】

半導体原料製造³⁾

無機工業化学,半導体とフォトリソグラフィー半導体とフォトリソグラフィー（２００７）⁴⁾

2007-09-01 ２００７年９月

2006-08-01 ２００６年８月

半導体

(株)ＳＵＭＣＯ米沢工場（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市⁵⁾

テクノクオーツ(株)

• (1) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1744.  (参照2007-09-27).
• (2) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：東北パイオニア米沢事業所＠山形県米沢市. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1723.  (参照2003-09-02).
• (3) 伊藤 智博. 無機工業化学：半導体原料製造. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1647.  (参照2007-11-15).
• (4) 伊藤 智博. 無機工業化学：半導体とフォトリソグラフィー（２００７）. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1643.  (参照2007-12-13).
• (5) 仁科 辰夫. 仁科先生の工場見学ルポ：（株）ＳＵＭＣＯ米沢事業所＠山形県米沢市. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1744.  (参照2007-09-27).