協力：齊藤敦研究室
http://www.ohshima-lab.yz.yamagata-u.ac.jp/
ピカッとさいえんす
の単元です。
小単元
概要
【動画】1)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…
【関連講義】山形大学工学部,８号館2)
【関連講義】山形大学工学部,クリーンルーム3)
ピカッと >
フォトリソグラフィー,
ピカッとさいえんす立花 和宏,
ピカッとさいえんす,
講義ノート, (
2011).
米沢キャ >
８号館,
米沢キャンパス仁科 辰夫,
山形大学工学部,
講義ノート, (
2007).
米沢キャ >
９号館（ >
クリーンルーム,
９号館（総合教育研究棟）仁科 辰夫,
山形大学工学部,
講義ノート, (
2011).
(
1)
ピカッと >
フォトリソグラフィー,
ピカッとさいえんす立花 和宏,
ピカッとさいえんす,
講義ノート, (
2011).
(
2)
米沢キャ >
８号館,
米沢キャンパス仁科 辰夫,
山形大学工学部,
講義ノート, (
2007).
(
3)
米沢キャ >
９号館（ >
クリーンルーム,
９号館（総合教育研究棟）仁科 辰夫,
山形大学工学部,
講義ノート, (
2011).