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誘導コイル結合型スパッタリング装置

取扱 管理者
責任者
項目内容
製品ID41
場所・区画 〔3〕
キャビネット 0



誘導コイル結合スパタリング装置

平成1212
エピタキシャル薄膜成長装置
プラズマソース
DC/RF電源
YBCOxCeO
回転型試料ホルダー
基板ヒーター
   工学部
学科 電気電子工学
   大嶋 重利
    3286

講習の予定無し使用法理解している者のみの使用届出後に許可
トラブル場合使用者およびその所属グループ責任おいて迅速に現状復帰のこと


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〒992-8510 山形県米沢市城南4丁目3-16 3号館(物質化学工学科棟) 3-3301
准教授 伊藤智博
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